发明名称 チップ位置決め装置、チップ位置決め方法、およびダイボンダ
摘要
申请公布号 JP5826701(B2) 申请公布日期 2015.12.02
申请号 JP20120091220 申请日期 2012.04.12
申请人 キヤノンマシナリー株式会社 发明人 喜多村 章司
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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