发明名称 WORK UNIT IN A CLEAN ROOM FACILITY
摘要 <p>Eine Arbeitseinheit (1) einer Reinraumanlage weist ein zentrales Basismodul (2), eine Handhabungsvorrichtung (3) und drehbar um das Basismodul (2) eine Drehabstützung (7) für im Zugriffsbereich der Handhabungsvorrichtung (3) liegende Anschlussmodule (5) auf.</p>
申请公布号 WO2015062732(A1) 申请公布日期 2015.05.07
申请号 WO2014EP02923 申请日期 2014.10.31
申请人 ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG 发明人 HÜGLER, KLAUS
分类号 H01L21/67;H01L21/677 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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