| 摘要 |
기재(11) 상에 점착제층(12)을 갖는 점착 시트(10)와, 그 점착제층(12) 상의 적어도 일부에, 보호막 형성용 조성물로 형성되어 이루어지는 보호막 형성용 필름(20)을 구비하는 보호막 형성용 복합 시트(1a)이며, 상기 보호막 형성용 조성물이, 질화붕소 입자 (C1)을 포함하는 무기 필러 (C)를 함유하고, (C) 성분의 함유량이, 그 보호막 형성용 조성물의 전량에 대해, 10 내지 70질량%인, 보호막 형성용 복합 시트(1a)는, 방열성 및 마킹성이 우수한 보호막을 형성할 수 있음과 함께, 신뢰성이 높은 보호막이 있는 칩을 제조할 수 있다고 하는 각별한 효과를 발휘한다. |
