用于射频微机电系统开关之整合电容式耦合偏压电路;INTEGRATED CAPACITIVELY-COUPLED BIAS CIRCUIT FOR RF MEMS SWITCHES

摘要

一种可切换电容，其包含有一第一电极；在该第一电极上的一电介质层；一第二电极，其被配置成在一停止状态中会被悬挂在该电介质层上方的一未偏向位置上，并在一启动状态中偏向该第一电极以回应在该等两电极之间的一电压差，在该启动状态中在该第二电极和该电介质层之间的一间隙会小于在该停止状态中一对应的间隙；以及一具有一第一和第二端的电容，该第一端被电气耦合到该等电极中之一，并配置成在该启动状态中当该第二电极偏向该第一电极时可降低在该等二电极之间的该电压差，其中在该等电极之间的该电压差对应于被横跨施加在该电容的该第二端与该等第一和第二电极中之另一的一偏压电压。