发明名称 一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法
摘要 本发明涉及显示器设计制造技术领域,尤其涉及一种用于离线真空吸附玻璃基板的承载机构和基板传送方法。本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构,在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板进行初步的固定,再通过真空吸附装置对基板进一步的固定,解决了单独使用夹持机构对基板固定时,基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还设置了分离装置,分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管分开,同时在真空管与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基板进行吸附,实现离线吸附功能,可避免因真空管的长度而限制影响基板的传送。
申请公布号 CN105097633A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510355093.4 申请日期 2015.06.24
申请人 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 石旭;徐志龙;刘军;王小军;李冬青;黄书同;陈伟;张磊
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 郝瑞刚
主权项 一种用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:包括设有夹持器的承载框(1),所述承载框(1)上设置有真空吸附装置和分离装置,所述真空吸附装置用于对基板(5)进行吸附固定,所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管(4)分开,并保持真空吸附装置对待运送基板(5)的持续吸附。
地址 230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号