承载装置

主权项

一种承载装置，适用于承载多片晶圆，该承载装置包含：一底板、多个限位柱及一顶板，该等限位柱自该底板向上延伸，该底板及该等限位柱共同界定出一限位空间以容置该等晶圆且使该等晶圆上下对齐地堆叠，并由该等限位柱将该等晶圆在水平方向限位，该顶板连接于该等限位柱顶端，且遮盖该限位空间的顶侧。