| 发明名称 |
WAFER HANDLING APPARATUS |
| 摘要 |
웨이퍼 지지 및 정렬 장치가 개시된다. 웨이퍼 지지 및 정렬 장치는 웨이퍼를 놓고, 정렬시키고 그리고 지지하도록 적응된 웨이퍼 지지 컴포넌트를 포함한다. 웨이퍼 지지 컴포넌트는 웨이퍼를 지지하기 위한 적어도 하나의 평평한 부분, 적어도 하나의 평평한 부분으로부터 위쪽으로 돌출한 적어도 하나의 정렬 립 부분, 및 적어도 하나의 베이스 부분의 일부로부터 깎여진 적어도 하나의 리세스된 포켓을 포함한다. 적어도 하나의 리세스된 포켓은 적어도 하나의 패드를 수용하도록 적응된다. |
| 申请公布号 |
KR20150127661(A) |
申请公布日期 |
2015.11.17 |
| 申请号 |
KR20157027743 |
申请日期 |
2014.03.11 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
PERGANDE PAUL E.;CARLSON CHARLES T. |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J11/00;B25J15/00;H01L21/68;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
