一种开启前开式晶圆盒的工具

摘要

本实用新型涉及集成电路工艺装置领域，尤其涉及一种开启前开式晶圆盒的工具，通过将开启前开式晶圆盒的门的钥匙与控制钥匙的活动把手一体式设计，通过连接装置中的钢丝带将钥匙与活动把手连接，紧握活动把手则钢丝带带动钥匙转动以开启前开式晶圆盒，这一方案通过活动把手握紧或松弛来控制钥匙，解决了传统单独的钥匙易丢失，且开启前开式晶圆盒的门之后FOUP门易脱落的问题。

主权项

一种开启前开式晶圆盒的工具，其特征在于，所述前开式晶圆盒设置有门闩锁，所述工具包括：钥匙，与所述门闩锁匹配；连接装置，所述钥匙可转动地设置于所述连接装置的一端；活动把手，设置于所述连接装置的另一端，所述活动把手通过所述连接装置与所述钥匙连接；以及将所述钥匙插入所述门闩锁的锁孔后，通过握紧所述活动把手以利用所述连接装置驱动所述钥匙转动，以开启所述前开式晶圆盒。