| 摘要 |
<p>圧力調整に関する発明を記載する。１つの例証的な実施形態においては、圧力を調整するための装置は、供給チャンバと、制御チャンバと、充填チャンバと、を含んでもよい。供給チャンバは、供給内腔への結合のために適応させた供給ポートを有してもよく、制御チャンバは、フィードバック内腔への結合のために適応させた制御ポートを有してもよい。充填チャンバは充填ポートを介して供給チャンバに流体的に結合されて得る。制御チャンバ内の調整弁は、充填ポートを介した流体連通を制御チャンバ内の圧力と目標圧力との間の差に基づき制御するように動作し得る。【選択図】図２Ａ</p> |
