主权项 |
具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、基底清洗利用超声波清洗机对光源收集镜(1)进行超声波清洗、酒精烘干,去除表面污染物;步骤二、涂胶在光源收集镜(1)的椭球面(2)上旋涂在曝光光源(6)辐照下能够产生具有抗蚀功能的材料,形成涂层;步骤三、曝光搭建曝光光路:沿光轴依次设置曝光光源(6)、扩束器(7)、光源收集镜(1)、曲面半反半透镜(4)和曲面反射镜(5),所述曲面半反半透镜(4)的焦点和曲面反射镜(5)的焦点分别与光源收集镜(1)的椭球面(2)所在椭球的第一焦点F<sub>1</sub>和第二焦点F<sub>2</sub>重合,所述曲面半反半透镜(4)与曲面反射镜(5)均能对平行光进行反射形成球面波,所述光源收集镜(1)的椭球面(2)所在椭球的焦距等于曝光光源(6)输出的激光波长四分之一的奇数倍;通过两相干点光源干涉在光源收集镜(1)的椭球面(2)上形成干涉条纹,使椭球面(2)上的涂层感光来完成曝光:所述曝光光源(6)输出的激光经扩束器(7)扩束后形成平行的入射光(11),入射光(11)经光源收集镜(1)中间的通孔(8)照射在曲面半反半透镜(4)表面,所述曲面半反半透镜(4)对一部分入射光(11)反射形成第一反射光(13)即第一球面波,对另一部分入射光(11)透射形成透射光(11’)照射在曲面反射镜(5)表面,所述曲面反射镜(5)对透射光(11’)反射形成第二反射光(13’)即第二球面波,所述第一反射光(13)和第二反射光(13’)均照射在光源收集镜(1)的椭球面(2)上;所述第一球面波的球心与曲面半反半透镜(4)的焦点、光源收集镜(1)的第一焦点F<sub>1</sub>重合,所述第二球面波的球心与曲面反射镜(5)的焦点、光源收集镜(1)的第二焦点F<sub>2</sub>重合,所述第一球面波和第二球面波在光源收集镜(1)的椭球面(2)上发生干涉形成干涉条纹,同时使椭球面(2)上的涂层感光完成曝光;步骤四、烘烤将曝光后的光源收集镜(1)放置在烘箱中进行烘烤;步骤五、显影采用溶剂清洗光源收集镜(1),去除光源收集镜(1)的椭球面(2)上未曝光区域的涂层;步骤六、刻蚀采用刻蚀液在具有半波带图案的光源收集镜(1)的椭球面(2)上刻蚀掉部分基底,刻蚀厚度为曝光光源(6)输出的激光波长的四分之一;步骤七、去胶利用等离子体去胶机去除光源收集镜(1)的椭球面(2)上经曝光后的涂层,使半波带结构露出;步骤八、镀膜在具有半波带结构的光源收集镜(1)的椭球面(2)上镀制一层极紫外反射膜,完成具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作。 |