使用气相色谱分析硅烷的取样系统及其方法

摘要

本发明公开了一种使用气相色谱分析硅烷的取样系统及其方法。它包括进样系统、高纯氦气吹扫管线、样品快速置换管线、文丘里管真空发生装置、碱液吸收池，进样系统包括多条进样管线，高纯氦气吹扫管线包括顺次相连的氦气吹扫阀、第二过滤器、压力调节阀、第二压力表、进气相色谱针型阀、六通定量阀，样品快速置换管线包括放空针型阀、浮子流量计，文丘里管真空发生装置包括氮气阀、第一压力表、第一抽真空阀、第二抽真空阀、文丘里管。本发明能对整个进样系统快速吹扫、彻底置换，避免各检测点样品切换分析时，在死角里的残留对分析的干扰；本发明系统和方法分析周期短，操作安全简便，能实现工业生产时高频次的分析要求。

主权项

一种使用气相色谱分析硅烷的取样系统，其特征在于，包括进样系统、高纯氦气吹扫管线、样品快速置换管线、文丘里管真空发生装置、碱液吸收池（16），进样系统包括多条进样管线，每条进样管线包括第一过滤器（3）和样品进样阀（2），样品进样阀（2）与第一过滤器（3）相连，高纯氦气吹扫管线包括顺次相连的氦气吹扫阀（1）、第二过滤器（6）、压力调节阀（8）、第二压力表（10）、进气相色谱针型阀（13）、六通定量阀（14），样品快速置换管线包括放空针型阀（11）、浮子流量计（12），放空针型阀（11）与浮子流量计（12）相连，浮子流量计（12）与碱液吸收池（16）相连，放空针型阀（11）与高纯氦气吹扫管线相连，连接点位于第二压力表（10）和进气相色谱针型阀（13）间的管线上，文丘里管真空发生装置包括氮气阀（4）、第一压力表（5）、第一抽真空阀（7）、第二抽真空阀（9）、文丘里管（15），氮气阀（4）、第一压力表（5）、文丘里管（15）的高纯氮气入口（A）顺次相连，文丘里管（15）的吸附腔入口（D）分别与第一抽真空阀（7）、第二抽真空阀（9）相连，文丘里管（15）的喷嘴（B）与碱液吸收池（16）相连，第二抽真空阀（9）与压力调节阀（8）、第二压力表（10）之间的管线相连，第一抽真空阀（7）与第二过滤器（6）、压力调节阀（8）之间的管线相连，进样管线与氦气吹扫阀（1）、第二过滤器（6）之间的管线相连。