显示基板

摘要

本发明提供一种显示基板。该显示基板包括：设置在基板上的栅互连；设置在该栅互连上且包括氧化物半导体的氧化物半导体图案；以及设置在该氧化物半导体图案上的数据互连。该氧化物半导体图案包括：具有第一氧化物和第一元素的第一氧化物半导体图案；以及具有第二氧化物的第二氧化物半导体图案。

主权项

一种显示基板，包括：设置在基板上的栅互连；设置在该栅互连之上且包括氧化物半导体的氧化物半导体图案；以及设置在该氧化物半导体图案上的数据互连，其中该氧化物半导体图案包括：第一氧化物半导体图案，包括第一组成元素的第一氧化物和第一元素；以及第二氧化物半导体图案，包括第二氧化物，其中所述第一氧化物半导体图案比所述第二氧化物半导体图案更靠近所述栅互连，并且其中所述第一氧化物半导体图案的带隙大于所述第二氧化物半导体图案的带隙，其中所述第一氧化物半导体图案包括选自包括Ga、In、Zn、Sn和Hf的组的至少一种元素，其中所述第一元素包括选自包括N、P、F和Cl的组的至少一种元素。