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Eine Strahlerzeugungsvorrichtung (100), die zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahls (1) eingerichtet ist, umfasst eine Vakuumkammer (10), eine Düseneinrichtung (20) mit mindestens einer Düse (21, 22), die zum Flüssigkeitsaustritt in die Vakuumkammer (10) und zur Erzeugung des Flüssigkeitsstrahls (1) angeordnet ist, eine Flüssigkeitszufuhreinrichtung (30), die ein Flüssigkeitsreservoir (31) und eine erste Pumpe (32) umfasst und mit der Düseneinrichtung (20) gekoppelt ist, eine Auffangeinrichtung (40), die ein Auffanggefäß (41) mit einer Eintrittsöffnung (42) umfasst, die zum Auffangen des Flüssigkeitsstrahls (1) in der Vakuumkammer (10) angeordnet ist, und - eine Rückgewinnungseinrichtung (50), die für eine Rückgewinnung der aufgefangenen Flüssigkeit aus dem Auffanggefäß (41) angeordnet ist, wobei die Rückgewinnungseinrichtung (50) eine zweite Pumpe (52) umfasst, die zwischen dem Auffanggefäß (41) und dem Flüssigkeitsreservoir (31) angeordnet und zum Transport der aufgefangenen Flüssigkeit direkt in die Flüssigkeitszufuhreinrichtung (30) eingerichtet ist. Es wird auch ein Verfahren zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahls (1) mit der Strahlerzeugungsvorrichtung (100) beschrieben. |
