发明名称 |
使用模型确定等离子体系统的RF传输系统中故障的位置 |
摘要 |
本发明涉及使用模型确定在等离子体系统的RF传输系统的故障的位置。用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法包括表征RF传输系统以及选择所述RF传输系统的区段中的一个作为初始选定区段。可以在所表征的所述RF传输系统中测量所述初始选定区段的输出。传播所述初始选定区段的所测得的所述输出通过基线RF模型以及在所述RF传输系统的所产生的RF模型中确定偏转点。 |
申请公布号 |
CN105006419A |
申请公布日期 |
2015.10.28 |
申请号 |
CN201510198711.9 |
申请日期 |
2015.04.21 |
申请人 |
朗姆研究公司 |
发明人 |
约翰·C·小瓦尔考 |
分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
代理机构 |
上海胜康律师事务所 31263 |
代理人 |
樊英如;李献忠 |
主权项 |
一种用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法,其包括:表征具有多个区段的所述RF传输系统;从所述RF传输系统的所述多个区段选择作为初始选定区段的区段;测量在所表征的所述RF传输系统中的所述初始选定区段的输出;传播所述初始选定区段的所测得的所述输出通过基线RF模型;以及确定在所述RF传输系统的所产生的RF模型中的偏转点。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |