发明名称 使用模型确定等离子体系统的RF传输系统中故障的位置
摘要 本发明涉及使用模型确定在等离子体系统的RF传输系统的故障的位置。用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法包括表征RF传输系统以及选择所述RF传输系统的区段中的一个作为初始选定区段。可以在所表征的所述RF传输系统中测量所述初始选定区段的输出。传播所述初始选定区段的所测得的所述输出通过基线RF模型以及在所述RF传输系统的所产生的RF模型中确定偏转点。
申请公布号 CN105006419A 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201510198711.9 申请日期 2015.04.21
申请人 朗姆研究公司 发明人 约翰·C·小瓦尔考
分类号 H01J37/32(2006.01)I 主分类号 H01J37/32(2006.01)I
代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 樊英如;李献忠
主权项 一种用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法,其包括:表征具有多个区段的所述RF传输系统;从所述RF传输系统的所述多个区段选择作为初始选定区段的区段;测量在所表征的所述RF传输系统中的所述初始选定区段的输出;传播所述初始选定区段的所测得的所述输出通过基线RF模型;以及确定在所述RF传输系统的所产生的RF模型中的偏转点。
地址 美国加利福尼亚州