发明名称 一种磷化镓单晶拉制过程中再熔接的方法
摘要 一种磷化镓单晶拉制过程中再熔接的方法,它包括以下步骤:1).当碰舟或粘舟情况发生后立即停止晶升、埚升;2).用0.5~5℃/min的速率升温,观察微分重量和浮舟转速变化情况;3).当微分重量显示小于1.2~2.0g/min,停止升温;4).当浮舟转速稳定在3.0~5.0秒/转时,将晶体向下回插1~5mm,然后稳料30分钟;5).稳料后,将晶体提拉速度逐渐增加为3~15mm/hr开始提拉,同时将埚升增加至0.3~1.5mm/hr继续拉晶,晶体再熔接过程结束。本发明的优点是:采用本方法操作简单,可有效减少碰舟或粘舟导致单晶变为多晶的几率,从而提高磷化镓单晶成品率。
申请公布号 CN103184511B 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201110452389.X 申请日期 2011.12.29
申请人 有研光电新材料有限责任公司 发明人 马英俊;林泉;张洁
分类号 C30B15/20(2006.01)I;C30B29/44(2006.01)I 主分类号 C30B15/20(2006.01)I
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人 郭佩兰
主权项 一种磷化镓单晶拉制过程中再熔接的方法,其特征在于:它包括以下步骤:1).当碰舟或粘舟情况发生后立即停止晶升、埚升;2).用0.5~5℃/min的速率升温,观察微分重量和浮舟转速变化情况;3).当微分重量显示小于1.2~2.0g/min,停止升温;4).当浮舟转速稳定在3.0~5.0秒/转时,将晶体向下回插1~5mm,然后稳料30分钟;5).稳料后,将晶体提拉速度逐渐增加为3~15mm/hr开始提拉,同时将埚升增加至0.3~1.5mm/hr继续拉晶,晶体再熔接过程结束。
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