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<p>전자 또는 광학 리소그래피를 위한 자유 형태 분절 방법 본 발명은 표면을 기본 특징부로 분절하는 컴퓨터 구현 방법을 개시하며, 여기서 희망 패턴은 직선 또는 곡선 형태를 가진다. 희망 패턴에 따라서, 겹치지 않는 또는 겹치는 유형의 제 1 분절이 수행될 것이다. 희망 패턴이 분해능 중요형인 경우, eRIF를 이용해 제 2 분절 단계를 수행하는 것이 바람직할 것이다. 이들 eRIF는 희망 패턴의 에지 상에 또는 중앙 축 또는 뼈대 상에 위치될 것이다. 본 발명은 제 1 분절 단계 및 제 2 분절 단계를 위해 사용되는 기본 특징부의 위치 및 형태를 정의하기 위한 방법 단계들을 더 개시한다.</p> |
