| 主权项 |
一种缺陷修正装置，系以光纤将从雷射光源所出射之雷射光导光至加工头之投影光学系统，将从前述投影光学系统出射之雷射光以空间调变元件进行空间调变并通过物镜，以修正基板上之缺陷部份者，其特征在于，包含有：基板台，系将前述基板保持在平面状态者；门型之高架，系隔着前述基板台架设者；雷射光源单元安装部，系以可沿着前述高架之水平柱之上面移动之状态设置，并安装有前述雷射光源者；头安装部，一体地固定于前述雷射光源单元安装部，并设置成可沿前述高架之水平柱之侧边移动，且安装有前述加工头；光纤，系将安装于前述雷射光源单元安装部之前述雷射光源与安装于前述头安装部之前述加工头间连结者；复数个模态扰乱器，系将前述光纤于相互正交之2方向微小地弯曲，并对该光纤调整按压量，而调整前述光纤内之模态分布者；及固定构件，将前述光纤之出射侧固定于前述雷射光源单元安装部，前述光纤之出射侧形成有直线部，该直线部是形成为使前述雷射光之强度分布均一的长度，且与前述投影光学系统之光轴一致地向出射侧端面呈一直线状延伸，
前述固定构件是固定于前述雷射光源单元安装部，使前述直线部对前述投影光学系统之光轴成为一直线状。
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