真空泵

主权项

一种用以泵送氯气、三氯化硼、溴化氢、氟气及三氟化氯之乾式真空泵，其包含一定子组件及至少一转子组件，其中该定子组件及/或该至少一转子组件系由经奥氏回火之延性铁形成。