| 摘要 |
Фотоэлектрический сенсор давления содержит фотоэлектрический преобразователь в виде интегрального фотодиода и оптомеханический узел, содержащий квадратную кремниевую измерительную диафрагму с жестким центром, опорной рамкой и V-канавкой, проходящей вдоль средней линии оптомеханического узла через одну из сторон рамки и жесткий центр, в которой расположено и клеевым способом закреплено оптоволокно, светоизлучающий конец которого направлен на интегральный фотодиод, расположенный на краю опорной рамки с противоположной стороны от места закрепления оптоволокна, отличающийся тем, что жесткий центр оптомеханического узла смещен относительно центра диафрагмы в сторону опорной рамки, где закреплено оптоволокно, на величину, не превышающую четверть длины стороны диафрагмы. |
