发明名称 Informationsverarbeitungsvorrichtung, Verfahren dafür und Messvorrichtung
摘要 Ein Ausdehnungsgrad eines geometrischen Merkmals in einer Oberfläche eines zu messenden Objekts wird geschätzt. Das geometrische Merkmal ist in einem geometrischen Muster enthalten und wird in einem Bild beobachtet, das erhalten wurde durch Aufnehmen des Objekts, auf das das geometrische Muster projiziert wird. Ein Parameter wird basierend auf dem geschätzten Ausdehnungsgrad eingestellt. Basierend auf dem Parameter wird ein Punkt auf dem geometrischen Muster in einem aufgenommenen Bild einstellt erhalten durch Aufnehmen des zu messenden Objekts, auf das das geometrische Muster projiziert wird. Eine zum eingestellten Punkt entsprechende dreidimensionale Position auf der Oberfläche des Objekts wird berechnet.
申请公布号 DE102015005267(A1) 申请公布日期 2015.10.15
申请号 DE20151005267 申请日期 2015.03.24
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 FURIHATA, HISAYOSHI;FUJIKI, MASAKAZU;KOBAYASHI, KAZUHIKO;SUZUKI, MASAHIRO
分类号 G01B11/25 主分类号 G01B11/25
代理机构 代理人
主权项
地址