基于石墨烯的化学或生物传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯的化学或生物传感器及其制作方法。该传感器包括：至少一端面为电绝缘面的基底；设置在基底一端面上的，具有设定图形结构的石墨烯层以及与石墨烯层配合的图形源、漏电极；覆盖基底一端面的除石墨烯层和源、漏电极之外的区域的钝化层；设置于基底另一端面上的栅电极；以及连接在石墨烯层上的，用以检测目标物质的识别物。其制作方法包括：在基底的电绝缘面上覆盖石墨烯层，并利用半导体工艺在石墨烯层和基底上制作晶体管结构，最后在石墨烯层表面修饰作为识别物的化学或生物分子以检测目标物质。本发明传感器易于制备，便于操作，并且具有灵敏度高、稳定性好，成本低等特点，适用于检测化学分子或疾病相关因子或病毒等。

主权项

一种基于石墨烯的化学或生物传感器，其特征在于包括：至少一端面为电绝缘面的基底，设置在所述基底一端面上的，具有设定图形结构的石墨烯层以及与石墨烯层配合的图形源、漏电极，覆盖所述基底一端面的除所述石墨烯层和源、漏电极之外区域的钝化层，设置于所述基底另一端面上的栅电极， 以及，连接在所述石墨烯层上的、用以检测目标物质的识别物。