| 发明名称 |
PREPARATION PROCESS OF TRISILYLAMINE |
| 摘要 |
<p>본 발명은 보다 염가이고 용이하게 고순도인 트리실릴아민을 얻을 수 있는 트리실릴아민의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 퍼히드로폴리실라잔을 무산소 또는 저산소 분위기하에서 가열 분해하는 트리실릴아민의 제조 방법을 제공한다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101559610(B1) |
申请公布日期 |
2015.10.13 |
| 申请号 |
KR20110003828 |
申请日期 |
2011.01.14 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
B01J19/00;C01B21/092;C01B33/00 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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