曝光装置、曝光管理系统及曝光方法

主权项

一种曝光装置，其包括：取得部，其取得对相互不同之复数个偏焦量进行测量而得之复数个测量值、即分别表示曝光照射区域内之位置偏移分布之上述复数个测量值；及计算部，其自上述复数个测量值求出复数个失真误差，根据上述复数个偏焦量及上述复数个失真误差，求出偏焦量与用以修正失真误差之对准修正值之相关关系。