| 发明名称 | 一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法，其包括：预设工件刻蚀的相关参数，其包括：工件一维刻蚀深度曲线与离子束刻蚀速率；将工件一维刻蚀深度曲线进行曲线变化，获得相应的驻留时间曲线；根据所述驻留时间曲线计算快门组件或工件的匀速移动速率，并根据所述匀速移动速率对驻留时间曲线进行坐标变换；对坐标变换后的驻留时间曲线进行分割，获得快门组件中可移动快门相对于快门零位的距离与时间曲线。采用本发明公开的方法，可以快速获得加工面形的加工参数。 | ||
| 申请公布号 | CN104966682A | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
| 申请号 | CN201510408705.1 | 申请日期 | 2015.07.10 |
| 申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 曾思为;吴丽翔;邱克强;付绍军 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;郑哲 |
| 主权项 | 一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法，其特征在于，包括：预设工件刻蚀的相关参数，其包括：工件一维刻蚀深度曲线与离子束刻蚀速率；将工件一维刻蚀深度曲线进行曲线变化，获得相应的驻留时间曲线；根据所述驻留时间曲线计算快门组件或工件的匀速移动速率，并根据所述匀速移动速率对驻留时间曲线进行坐标变换；对坐标变换后的驻留时间曲线进行分割，获得快门组件中可移动快门相对于快门零位的距离与时间曲线。 | ||
| 地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 | ||