发明名称 金属膜制造用组成物、金属膜之制造方法及金属粉末之制造方法
摘要
申请公布号 TWI501927 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW098135757 申请日期 2009.10.22
申请人 东曹股份有限公司;财团法人相模中央化学研究所 发明人 山川哲;大岛宪昭;川畑贵裕;木下智之;稻生俊雄
分类号 C01G3/00;C01G5/00;C01G15/00;C07C31/125;B01J31/26;H01L21/283 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人 周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项 一种铜、银或铟之金属膜制造用组成物,其特征为包含:氧化铜(I)、氧化铜(II)、氮化铜(I)、氧化铟(III)、氧化银(I)或碳酸银(I);1,3-丁二醇、2,4-戊二醇、环己醇、乙二醇、1,3-丙二醇、1,4-环己二醇或甘油;及二氯参(三苯基膦)钌、反式氯羰基双(三苯基膦)铑、肆(三苯基膦)钯、反式氯羰基双(三苯基膦)铱、肆(三苯基膦)铂、二氯[双(1,2-二苯基膦基)乙烷]镍、二氯[双(1,2-二苯基膦基)乙烷]钴、二氯[双(1,2-二苯基膦基)乙烷]铁、十二羰基三钌、十六羰基六铑、十二羰基四铱、二氢化(二氮)参(三苯基膦)钌、氢化参(三异丙基膦)铑、或五氢化双(三异丙基膦)铱、二乙烯(乙醯丙酮)铑、二氯(1,5-环辛二烯)钌、铑酸乙腈(环辛二烯)、双(1,5-环辛二烯)铂、双(1,5-环辛二烯)镍、氯(π-烯丙基)钯二聚体、氯(π-烯丙基)参(三甲基膦)钌、钌酸乙腈伍(三氯锡)、铑酸伍(三氯锡)氯、顺式、铱酸反式肆(三氯锡)二氯、钯酸伍(三氯锡)、铂酸伍(三氯锡)、氯双(2,2’-联吡啶基)铑、参(2,2’-联吡啶基)钌、二乙基(2,2’-联吡啶基)钯、二茂铁、二茂钌、二氯(四甲基环戊二烯基)铑二聚体、二氯(四甲基环戊二烯基)铱二聚体、二氯(五甲基环戊二烯基)铱二聚体、氯(四苯基卟啉)铑、铁酞花青、二(苯亚甲基丙酮)钯、三(苯亚甲基丙酮)二钯、二氯(乙二胺)双(三对甲苯基膦)钌、钌酸六氨、铑酸六氨、钌酸氯五氨、参(1,10-邻二氮菲)钌、参(1,10-邻二氮菲)铁、[1,3-双[2-(1-甲基)苯基]-2-亚咪唑啶基]二氯(苯基亚甲基)(三环己基)钌、或沙连(salen)钴。
地址 日本