光罩之制造方法、光罩、及显示装置之制造方法

主权项

一种光罩之制造方法，该光罩具备透明基板、及由形成于上述透明基板上且已分别图案化之复数个薄膜所构成之特定之转印用图案，上述制造方法之特征在于包括：第1图案化步骤，其系对形成于上述透明基板上之第1薄膜实施光微影步骤而形成第1图案；及第2图案化步骤，其系对形成于上述透明基板上之第2薄膜实施光微影步骤而形成第2图案；上述第1图案化步骤包含第1描绘步骤，上述第2图案化步骤包含第2描绘步骤，且于上述第1描绘步骤及第2描绘步骤中，包含使用实施相同形变修正后之修正座标系进行之描绘，上述形变修正系基于使用上述光罩与曝光机的曝光步骤中产生的图案之座标之形变的修正。