基板处理方法及基板处理系统

主权项

一种基板处理方法，系于基板处理机构中使用处理液来处理基板者，包含以下步骤：前置步骤，系生成含活性种之溶液者，该含活性种之溶液含有可有助于基板处理活化之活性种；第1步骤，系将该前置步骤所生成之前述含活性种之溶液与用于处理前述基板之处理液混合，而生成含活性种之处理液；及第2步骤，系将前述第1步骤所生成之含前述活性种之处理液作为前述处理液而供给至前述基板处理机构者；并且，于前述基板处理机构中，利用前述含活性种之处理液与前述基板之反应，一边使活性种产生，一边处理前述基板。