| 发明名称 |
MEASURING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1844490(A1) |
申请公布日期 |
2007.10.17 |
| 申请号 |
EP20060732477 |
申请日期 |
2006.04.24 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
OUCHI, CHIDANE;NAKAUCHI, AKIHIRO;KATO, SEIMA |
| 分类号 |
H01L21/027;G01B11/24;G01M11/02;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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