| 发明名称 | 金属氧化物的等离子体增强化学气相沉积 | ||
| 摘要 | 通过对金属氧化物前体(10)和氧化剂进行电晕放电(40)或介电阻挡放电以形成金属氧化物并将其沉积到基材上，可以在相对较低的温度和在等于或接近大气压下将金属氧化物涂料涂敷到基材(60)上。 | ||
| 申请公布号 | CN1957109A | 申请公布日期 | 2007.05.02 |
| 申请号 | CN200580016213.2 | 申请日期 | 2005.05.20 |
| 申请人 | 陶氏环球技术公司 | 发明人 | D·P·迪内加;C·M·魏卡特 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01);C23C16/50(2006.01) | 主分类号 | C23C16/40(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 1.一种包含下列步骤的方法：1)在存在氧化剂的情况下对金属氧化物前体进行电晕放电或介电阻挡放电以通过等离子体增强化学气相沉积将前体转化成金属氧化物，和2)将金属氧化物沉积到基材上。 | ||
| 地址 | 美国密歇根州 | ||