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发明名称 INSPECTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100709156(B1) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 KR20000031940 申请日期 2000.06.10
申请人 发明人
分类号 G01B11/24;H01L21/66;G01B11/245;G01B11/30;G01M11/00;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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