成膜装置

摘要

本发明提供一种成膜装置，包括供给液态原料的原料供给部、使液态原料汽化并生成原料气体的汽化器、导入原料气体从而在被处理基板上形成薄膜的成膜室的成膜装置。所述汽化器具备喷射从原料供给部供给的液态原料的喷雾喷嘴、具有喷雾喷嘴开口的一个端部以及封闭的另一个端部，使从喷雾喷嘴喷射的雾状的液态原料汽化并生成原料气体的汽化室、对汽化室进行加热的加热器、在喷雾喷嘴的附近朝着汽化室开口并从汽化室导出原料气体的导出口。所述汽化室的封闭的另一个端部，为了使从喷雾喷嘴喷射的液态原料发生汽化，而仅与喷雾喷嘴保持足够的距离。

主权项

1.一种成膜装置，其特征在于：是一种包括供给液态原料的原料供给部、使所述液态原料汽化并生成原料气体的汽化器、和导入所述原料气体而在被处理基板上形成薄膜的成膜室的成膜装置，其中，所述汽化器包括：喷射从所述原料供给部供给的液态原料的喷雾喷嘴；具有所述喷雾喷嘴开口的一个端部以及封闭的另一个端部，使从所述喷雾喷嘴喷射的雾状的液态原料汽化并生成原料气体的汽化室；对所述汽化室进行加热的加热设备；和在所述喷雾喷嘴的附近朝着所述汽化室开口、并从所述汽化室导出原料气体的导出口，所述汽化室的封闭的另一个端部，为了使从所述喷雾喷嘴喷射的液态原料发生汽化，而与所述喷雾喷嘴仅保持足够的距离。