| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER IL RIVESTIMENTO DI SUBSTRATI IN UNA CAMERA A VUOTO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1189560(B) |
申请公布日期 |
1988.02.04 |
| 申请号 |
IT19860020793 |
申请日期 |
1986.06.16 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
BERGMANN ERICH;HUMMER ELMAR |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/503;(IPC1-7):C23C/ |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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