发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESS WITH IMPROVED SUPPRESSION OF PARASITIC TRANSISTORS
摘要
申请公布号 GB8829657(D0) 申请公布日期 1989.02.15
申请号 GB19880029657 申请日期 1988.12.20
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/765;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/72 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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