| 摘要 |
Bei einer derartigen Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte wird die Teilung (T) eines mit dem einen Objekt verbundenen Teilungsträgers (TT) von einer mit dem anderen Objekt verbundenen Abtasteinrichtung (A) abgetastet. Die Abtasteinrichtung (A) weist eine Beleuchtungseinheit (B) zur Erzeugung zweier periodischer Abtastsignale (S1, S2) auf, die einmal einer Auswerteeinrichtung (W) zur Bildung von Meßwerten für die Relativlage der beiden Objekte und zum anderen einer Fehlermeldeeinrichtung (F) zur Erzeugung eines Fehlersignals (FS) bei fehlerhaften Signalparametern der periodischen Abtastsignale (S1, S2) zugeführt werden. Zur Überprüfung der Amplitudenhöhen der beiden periodischen Abtastsignale (S1, S2) wird die normale Versorgungsspannung (V) für die Abtasteinrichtung (A) auf eine reduzierte Versorgungsspannung (Va) für eine bestimmte Prüfzeit (T) abgesenkt, so daß der Helligkeitsgrad der Beleuchtungseinheit (B) vermindert und dadurch die Amplitudenhöhen der beiden periodischen Abtastsignale (S1, S2) reduziert werden. Gibt die Fehlermeldeeinrichtung (F) während dieser Prüfzeit (T) ein Fehlersignal (FS) ab, so gilt dies als Vorwarnung, daß die Helligkeit der Beleuchtungseinheit (B) in nächster Zeit für eine einwandfreie Messung nicht mehr ausreichend sein wird. <IMAGE>
|
