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发明名称
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER LAGE EINES PN-UEBERGANGS
摘要
申请公布号
DE3942861(A1)
申请公布日期
1991.06.27
申请号
DE19893942861
申请日期
1989.12.23
申请人
ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART, DE
发明人
PLUNTKE, CHRISTIAN, DR.RER.NAT.;THIENEL, CHRISTOPH, DIPL.-PHYS., 7410 REUTLINGEN, DE;DENNER, VOLKMAR, DR.RER.NAT., 7417 PFULLINGEN, DE
分类号
H01L21/66;G01R31/265;H01L23/544
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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