发明名称 VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER LAGE EINES PN-UEBERGANGS
摘要
申请公布号 DE3942861(A1) 申请公布日期 1991.06.27
申请号 DE19893942861 申请日期 1989.12.23
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART, DE 发明人 PLUNTKE, CHRISTIAN, DR.RER.NAT.;THIENEL, CHRISTOPH, DIPL.-PHYS., 7410 REUTLINGEN, DE;DENNER, VOLKMAR, DR.RER.NAT., 7417 PFULLINGEN, DE
分类号 H01L21/66;G01R31/265;H01L23/544 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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