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发明名称 SUBSTRATE CONVEYANCE ROBOT
摘要
申请公布号 JPH0492446(A) 申请公布日期 1992.03.25
申请号 JP19900209011 申请日期 1990.08.07
申请人 PURAZUMA SHISUTEMU:KK 发明人 SAKAKIBARA TAKAAKI
分类号 B25J17/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J17/00
代理机构 代理人
主权项
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