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发明名称 PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05102085(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910257920 申请日期 1991.10.04
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 TANIHARA SATOSHI;EHATA TOSHIKI;KOBAYASHI SHIGEKI;MORIOKA YOSHITAKA;TANO SHINJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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