用于设限截断生产数据的统计过程控制的方法和计算机代码

摘要

本发明公开了一种用于监视半导体集成电路的器件特征的方法。器件特征包括设限截断数据和正常数据。该方法包括：针对从1到N编号的多个批次(例如，晶片制造批次)分别确定从1到N编号的多个最小击穿电压。多个最小击穿电压的每一个通过顺序统计分别表示多个样本。多个样本中的一个或多个包括一个或多个正常数据点以及一个或多个设限截断数据点。该方法包括针对多个批次分别处理最小击穿电压。针对多个批次的各批次处理每个最小击穿电压，并且，每个最小击穿电压表示针对1到N编号的各批次的、从1到N编号的总体特征击穿电压。该方法包括基于对最小击穿电压的处理来确定一个或多个异常。所述一个或多个异常与关联于至少一个批次的一个或多个工艺相关联。

主权项

1. 一种用于监视半导体集成电路的器件特征的方法，所述器件特征包括设限截断数据和正常数据，该方法包括：针对从1到N编号的多个批次分别确定从1到N编号的多个最小击穿电压，所述多个最小击穿电压的每一个通过顺序统计分别表示多个样本，所述多个样本中的一个或多个包括一个或多个正常数据点以及一个或多个设限截断数据点；针对所述多个批次分别处理最小击穿电压，针对所述多个批次中的各个批次而处理的每个最小击穿电压表示针对从1到N编号的各批次的、从1到N编号的总体特征击穿电压；基于对最小击穿电压的处理来确定一个或多个异常，所述一个或多个异常与关联于至少一个批次的一个或多个工艺相关联；以及基于所述一个或多个异常来提供输出。