发明名称 Mikromechanische Vorrichtung mit Antriebsrahmen
摘要 Die Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Vorrichtung mit wenigstens einem Antriebsrahmen (10, 15, 17) und wenigstens einem Schwinger (20, 25, 27), wobei der Schwinger (20, 25, 27) in einem von dem Antriebsrahmen (10, 15, 17) umfassten Bereich (50) angeordnet ist, wobei der Schwinger (20, 25, 27) mit dem Antriebsrahmen (10, 15, 17) mechanisch gekoppelt ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Antriebsrahmen (10, 15, 17) zu einer Biegeschwingung (100) anregbar ist.
申请公布号 DE102007051591(A1) 申请公布日期 2009.04.16
申请号 DE200710051591 申请日期 2007.10.29
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 HAUER, JOERG;MEISEL, DANIEL CHRISTOPH
分类号 B81B3/00;G01C19/56 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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