摘要 |
Die Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Vorrichtung mit wenigstens einem Antriebsrahmen (10, 15, 17) und wenigstens einem Schwinger (20, 25, 27), wobei der Schwinger (20, 25, 27) in einem von dem Antriebsrahmen (10, 15, 17) umfassten Bereich (50) angeordnet ist, wobei der Schwinger (20, 25, 27) mit dem Antriebsrahmen (10, 15, 17) mechanisch gekoppelt ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Antriebsrahmen (10, 15, 17) zu einer Biegeschwingung (100) anregbar ist.
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