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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von winkelaufgelöster spektroskopischer Lithografie
摘要
申请公布号 DE602007000624(D1) 申请公布日期 2009.04.16
申请号 DE200760000624T 申请日期 2007.06.11
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 KIERS, ANTOINE GASTON MARIE;DEN BOEF, ARIE JEFFREY;KEIJ, STEFAN CAROLUS JACOBUS ANTONIUS
分类号 G01N21/21;G01B11/06;G01N21/956;G03F7/20 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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