光阻液喷嘴的清洗治具

主权项

1.一种光阻液喷嘴的清洗治具，系可动地靠近一光阻涂布装置，藉以清洗该光阻涂布装置的一光阻液喷嘴，其中该光阻液喷嘴的清洗治具包括：一容器，具有一凹槽用来盛装一洗剂，并可容纳该光阻液喷嘴浸润于该洗剂之中；以及一注液管，与该容器连接，并连通该凹槽，用来将该洗剂注入该凹槽之中。2.如申请专利范围第1项所述之光阻液喷嘴的清洗治具，其中该容器系由一刚性或软性材质所构成的一壳体。3.如申请专利范围第1项所述之光阻液喷嘴的清洗治具，其中该容器还包括：一排液孔，位于该凹槽底部；以及一排液管，连通该排液孔，用来将该洗剂由该排液孔排出该容器。4.如申请专利范围第1项所述之光阻液喷嘴的清洗治具，其中该注液管系一刚性管材，在清洗该光阻液喷嘴时，可作为该容器的提把，使该容器靠近该光阻液喷嘴。5.如申请专利范围第1项所述之光阻液喷嘴的清洗治具，其中该注液管的一端具有一第一开口与该凹槽连通，另一端具有一第二开口用来承接一外部液体供应装置，藉以将该洗剂由该外部液体供应装置导入该凹槽之中。6.如申请专利范围第5项所述之光阻液喷嘴的清洗治具，其中该外部液体供应装置系一洗瓶(Wash Bottle)。7.如申请专利范围第1项所述之光阻液喷嘴的清洗治具，其中该洗剂包括一丙酮(Acetone)溶剂或N-甲基-2-咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidinone)溶剂。图式简单说明：第1图系根据本创作的较佳实施例所绘示的一种光阻液喷嘴清洗治具的结构示意图。