METHOD FOR THE SELF-DIAGNOSIS OF A PARTICLE SENSOR, PARTICLE SENSOR SUITED FOR PERFORMING THE METHOD, AND THE USE THEREOF

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Eigendiagnose eines Partikelsensors, umfassend ein auf der Oberfläche des Sensors angeordnetes Messelektrodensystem (1) mit mindestens zwei ineinander greifenden interdigitalen Messelektroden (2, 3) und mindestens eine unter dem Messelektrodensystem (1) angeordnete isolierende Schicht (4) und/oder mindestens eine unter der/den isolierenden Schicht/en (4) angeordnete Prüfelektrode (5, 5) und/oder eine unter der/den isolierenden Schicht/en (4) angeordnete Heizvorrichtung (7) und/oder eine unter der/den isolierenden Schicht/en (4) angeordnete Temperaturmessvorrichtung in dem eine Kapazität zwischen zwei Messelektroden (2, 3) und/oder zwischen einer Messelektrode (2; 3) und einer Prüfelektrode (5; 5) und/oder zwischen einer Messelektrode (2; 3) und der Heizvorrichtung (7) und/oder zwischen einer Messelektrode (2; 3) und der Temperaturmessvorrichtung unter Anlegen einer Wechselspannung oder Gleichspannung bestimmt und als Maßfür die Funktionsfähigkeit des Sensors ausgegeben wird, sowie zur Durchführung des Verfahrens geeignete Sensoren und deren Verwendung.