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Ein binär geblazetes diffraktives optisches Element (10) weist eine Vielzahl von Beugungsstrukturen (16) auf, die sich im Wesentlichen parallel zueinander erstrecken und senkrecht zu ihrer Erstreckungsrichtung eine Breite g aufweisen, die größer als die effektive Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung ist, für welche das diffraktive optische Element (10) optimiert ist. Die Beugungsstrukturen (16) umfassen jeweils eine Reihe von Einzel-Substrukturen (18), die in der Draufsicht die Form einer geschlossenen geometrischen Fläche besitzen, deren parallel zur Erstreckung der Beugungsstrukturen (16) gerichtete Abmessung in Richtung senkrecht zur Erstreckungsrichtung der Beugungsstrukturen (16) variiert und deren senkrecht zur Erstreckung der Beugungsstrukturen (16) gerichtete Abmessung größer als die effektive Wellenlänge ist. Erfindungsgemäß weist das optische Element (10) formdoppelbrechende Strukturen (26) auf, deren Dicke kleiner ist als die Dicke der Einzel-Substrukturen (18). Dadurch wird die Polarisationsabhängigkeit der Beugungseffizienz des diffraktiven optischen Elements (10) verringert.
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