具有系统自动判断卡关的机台移入确认作业流程

摘要

本发明系关于一种具有系统自动判断卡关的机台移入确认作业流程，可经由系统依开发出来的逻辑，自动运算上货顺序，于进站时作顺序的比对，确保上货批次(Batch)顺序无误。上货时，再结合现行既有的确认机制，使操作者能确实依照进站顺序上货，载入材料的晶舟位置正确。而上述移入确认作业流程，可在系统纪录上一个执行晶舟量测参数值后，自动判定材料的可执行晶舟位置，再依开发的逻辑运算出上货顺序。