| 发明名称 |
障蔽物抛光溶液 |
| 摘要 |
本发明提供一种抛光溶液，可在非铁类互连金属存在下优先移除障碍物质且对电介质之腐蚀有限。该抛光溶液包括0~20重量%的氧化剂，至少0.001重量%之用于降低非铁类互连金属移除速率的抑制剂，10 ppb至4重量%的错合剂、0~50重量%的研磨粒及余量的水，且该溶液的pH值小于7。 |
| 申请公布号 |
TWI363789 |
申请公布日期 |
2012.05.11 |
| 申请号 |
TW094110509 |
申请日期 |
2005.04.01 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料ＣＭＰ控股公司 美国 |
发明人 |
刘振东;坤喜 约翰;希米德特 罗伯特 Ｅ;汤姆士 泰伦斯 Ｍ |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
