金属用研磨液及研磨方法

摘要

本发明提供一种金属用研磨液，其含有：氧化金属溶解剂、金属的氧化剂、金属防蚀剂、重量平均分子量8,000以上的具有阴离子性官能基及非离子性官能基的水溶性聚合物以及水；该金属用研磨液的pH值为2.5以上5.0以下，可降低CMP(化学机械研磨)中所产生的研磨摩擦力，并且被研磨面的平坦性优异。