显像装置、显像方法及记忆媒体

摘要

[课题]提供抑制显像液之使用量并且快速在基板表面全体形成显像液之液膜的显像装置。;[解决手段]显像装置之构成系具备形成处理氛围之气密的处理容器；和被设置在该处理容器内，用以载置基板之调温板；和将含雾气及蒸气之氛围气体供给至上述处理容器内之氛围气体供给部；和用以将上述调温板调整成上述蒸气在基板上凝结之温度的第1温度调整部，上述处理容器之内壁系被设成维持在上述蒸气难以在该内壁凝结的温度。