包含暗场反射照明设备的系统、装置以及方法

摘要

在此描述了调制试样-背景暗场显微照片对比度的多种系统、装置以及方法。

主权项

一种暗场检测系统，包括：一个照明角度控制器，用于调制由一个暗场照明器递送的电磁能量的一个入射角，该暗场照明器被定向为在相对于一个光学组件的一条光轴的一个或多个入射角处将电磁能量聚焦到一个样本的至少一个聚焦区上；一个光圈控制器，该光圈控制器以可操作方式联接到一个光圈装置上，该光圈控制器可操作以调制与散射的电磁能量的一个收集区相关联的一个有效数值孔径，该散射的电磁能量来自由该电磁能量所探询的该样本，该电磁能量是由该暗场照明器递送的；以及一个照明‑收集分离控制器，该照明‑收集分离控制器以可操作方式联接到该照明角度控制器和该光圈控制器上，该照明‑收集分离控制器被配置为通过致动该照明角度控制器或该光圈控制器中的至少一个改变照明‑收集间隔，该间隔部分地以该暗场照明器递送的该电磁能量和该收集区为界。