主权项 |
一种列印头积体电路,其包含:一矽基材,其具有一前侧、一用来附装至一墨水歧管的背侧、及至少一墨水供应通道,其提供流连通于该前侧和该和侧之间;至少一在该前侧的CMOS层,其包含驱动电路;及一设置在该COMS层上的MEMS层,使得该CMOS层被设置在该矽基材与该MEMS层之间,该MEMS层包含多个喷墨喷嘴组件,其中:多个矽贯通连接器延伸贯穿该矽基材的厚度,每一矽贯通连接器从该MEMS层内的接触垫直线地延伸出,穿过该CMOS层并朝向该背侧;每一个别的矽贯通连接器的一端界定一积体电路接点;及该等积体电路接点透过一或多个导体柱被电连接至该CMOS层,该一或多个导体柱系直线地延伸在每一接触垫和该CMOS层之间。
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