一种锆基安培型三电极片式NO气敏传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种用于低浓度ppb级NO气体浓度测量的基于In₂O₃敏感电极的锆基安培型三电极片式NO气敏传感器及其制备方法。该传感器包括固体电解质、敏感电极、参考电极和对电极，所述参考电极和对电极，敏感电极印制在固体电解质的两侧，所述敏感电极、参考电极和对电极上均点涂有Pt金浆层，所述敏感电极、参考电极和对电极上均引出电极引线，所述敏感电极为In₂O₃采用厚膜丝网印刷技术印制成型，敏感电极的厚度为10-20μm，面积为20-25mm²。并具体公开了该传感器的制备方法。该传感器的结构简单、体积小、制备工艺简单，且稳定性高，能在中低温下实现对低浓度即0-900ppb级NO气体浓度的实时检测。

主权项

一种锆基安培型三电极片式NO气敏传感器，其特征在于，包括固体电解质(1)、敏感电极(2)、参考电极(3)和对电极(4)，所述参考电极(3)和对电极(4)，敏感电极(2)印制在固体电解质(1)的两侧，所述敏感电极(2)、参考电极(3)和对电极(4)上均点涂有Pt金浆层(5)，所述敏感电极(2)、参考电极(3)和对电极(4)上均引出电极引线(6)，所述敏感电极(2)为In₂O₃采用厚膜丝网印刷技术印制成型，敏感电极(2)的厚度为10‑20μm，面积为20‑25mm²。